但淡 奪 (MSDS) 族昷 束箪他賊鱈 1 族多揃 族炭揃存旦 袖 族炭揃短続 贈尊 損俗孫竪 Silicon Tetrachloride 損俗 則短続 贈尊損俗孫竪 揃遜贈尊 SiCl4 卒炭短 贈尊 Tetrachlorosilane臓A Silicon Chloride 炭族 贈尊 賊 他息但淡 奪多 村 孫束他 賊 他息族箪遜淡卒 奪杮孫造袖 (800)752-1597 族辿俗袖巽損属 贈尊 MSDS 尊谷 贈尊 其息卒ﾃ箪 贈尊 3 存卒族辿贈尊 其息 贈尊 1998 棚 7 2 族多揃 歎捉辿続谷 卒 袖 尊測多 : >99% CAS 尊谷 : 10026-04-7 其奪 茹? 0.067 ppm (as HCl) 3 族多揃 ﾂＢ座β乎旦 袖 遜担村賊辿多旦 卒ﾃ捉存俗臓蔵其他揃村尊奪贈測損叩側造担谷端袖遜促速嘆多淡 損叩族炭村造淡奪贈測谷速他巽揃卒側臓 遜担村賊辿多旦捉晌 巽損属 0532贈- 388 9090 遜臓多袖ﾂＢ座γ則 他側贈尊卒村造谷存俗臓賊息其即晛叩狸続測探則歎 損揃他続属枓贈尊 ﾂＢ座β饗族誰炭続造測探旦臓 ﾃ鱈村属損俗則 贈尊側 贈- 但ﾂＢ座 多存俗卒臓贈 歎捉 蔵卒贈尊 卒村造存臓蔵多尊担ﾃ蔀則狸短損揃箪速属丹 臓蔵則歎卒多他揃ﾂ驚叡贈 MSDS 損俗孫竪 1/5 但淡 奪 ﾂＢ座 誰揃 : 8臓蔵 6.1 4 族多揃 村賊他卒谷息 袖 其村賊他 袖捉坦贈尊 村賊他側卒息歎存尊遜担ﾃ蔀 (SCBA)臓贈 族損測賊息其 他 袖村 卒谷 贈尊 24 臓賊贈 他側遜卒促贈尊孫坦多速損箪続奪 15 揃昢測族蔵損賊続多捉造奪卒村遜臓 樽捉 蔵 卒村属ﾂＢ座γ則 贈- 村賊他 袖揃損造贈尊 揃損造臓蔵族多其孫尊担ﾃ実Ｂ袖促枱樽属棚卒遜脱 其遜側袖叩 他贈尊 卒坦族多揃袖其損俗但続旦箪丹贈測孫竪造村尊存 臓贈谷損叩袖村柃俗蔵卒息多嘆存孫造 袖 5 族多揃 損丹 尊賊測即 袖達 贈尊 村ﾃ其 贈尊 村 束 : 族損 族損 族損 丹損 村 村 続 則 損 族 尊 贈 村 多 損 族 誰 卒 孫 ,臓 贈 側 袖 辿 丹 損 則 辰 丹 損丹 族 贈 臓 丹損 賊多但旦袖 ﾂＢ座 賊但谷速遜卒促他巽揃側贈測族炭損俗淡奪臓其存嘆 損丹脱賊贈測存多孫側叩柈卒坦族揃袖遜竪村則速淡奪臓巽 孫短測則贈多袖村賊即臓 但丹損 続 嘆贈尊 続揃谷湛賊贈測担ﾃ蔵村卒尊側速属但叩損丹臓袖存多歎辰 賊袖遜損丹脱臓贈 柃揃賊袖但 損造竪 存贈尊 多淡尊担ﾃ蔀 SCBA臓蔵揃其他脱臓 A 村其揃損造臓贈 ﾂＢ座γ村族炭 誰 損俗但臓蔵 oxides of silicon臓蔵損俗ﾃ臓贈 6 族多揃 但 孫息側村賊卒 鱈 袖 存旦側蔵但枘贈尊 1.遜束湛賊臓蔵続袖他存担谷孫息淡贈 2.孫袖賊揃損造他臓贈 3.巽孫短多贈測賊息卒臓 4.存担谷孫 息歎臓贈 5.担存多孫息即捉損探臓贈 6.担続竪賊存揃蔵炭孫息贈測多則属族束袖 側贈測ﾃ属揃其即孫竪淡奪遜続卒袖臓 損揃他続蔵但枘贈尊 賊但孫息ﾃ歎谷速袖臓蔵損嘆辰端多村贈 奪鱈揃遜 即贈尊 1.奪鱈孫造歎竪袖箪賊存尊丹臓贈 2.ﾃ庵旦卒促孫息ﾃ臓贈 3.賊贈続孫其淡即揃巽村尊臓 4.族炭袖揃ﾃ孫即脱属狸鱈贈測束竪遜辰族担速淡奪村谷卒綻臓 5.尊坦奪晊淡贈測 族蔵卒坦多速続奪昢測揃谷側鱈臓 7 族多揃 孫 谷卒蔵 脱 袖 400C贈測 卒蔵 脱 贈尊存多側卒脱揃即巽村臓蔵属族束賊但孫棚速続湛測淡ﾃ其損箪 MSDS 損俗孫竪 2/5 但淡 奪 端卒脱淡族損多揃村ﾃ臓蔵晠短丹其谷賊続旦袖尊担贈存側 卒脱揃族蔵袖賊淡遜担則続旦多存村属贈損造測鱈側竪孫其即臓捉端 遜淡続旦袖賊但端揃孫箪贈測其即村多卒脱臓則竪担狸族辿存ﾃ 巽丹損嘆息袖臓贈賊卒側湛他俗棚蔵脱属竪孫狸族但谷即続測 賊存孫息村属続箪ﾃ竪臓贈 孫 贈尊族損捉昞蔵-孫旦存多測側袖賊即続属叩遜短 存卒袖探箪多臓贈孫賊谷其即脱揃則但歎遜淡柃損丹族 其多鱈ﾂ座誼揃遜村臓贈存損叩狸続孫息湛枑竪賊族但坦 存多測遜袖続賊箪臓卒嘆捉揃則贈担旦ﾂ挫側孫族歎蔵即 孫息損探臓贈族多造他 (巽属奪臓蔵多丹袖 )族奪遜淡多存其綻賊捉卒嘆贈測巽損叩丹袖 多揃則狸続孫息贈測側袖歎遜損卒属奪嘆捉箪担存臓淡蔵 臓蔵族淡歎他鱈賊棚揃脱存多孫卒旦贈ﾂ但遜谷丹束奪測 尊坦谷孫造側属奪遜束揃則続旦多存淡損促臓贈賊脱丹村卒鱈息袖担辰 賊存臓贈 SCBA臓蔵遜担村賊晊歎属族束続奪竪存袖臓贈即但孫息側辰損速 8 族多揃 賊息其多 /存旦揃損造卒谷息 袖 孫造続多 贈尊即揃巽測叩孫息袖損嘆他族多淡竪賊存但箪続鱈其臓 多族ﾃ箪 : 賊多遜他湛鱈即其 (TWA):-- 其賊村辰多遜他湛鱈即 (STEL):-- 樽存鱈即其 (Ceiling): 5ppm(for HCl) 炭ﾃ存谷 (BEIs):-- 存旦揃損造竪賊 贈尊 SCBA 損嘆箪孫遜多淡脱臓贈 :孫束鱈遜 A 村其揃損造臓贈 :遜担村賊続奪歎臓蔵遜晊贈 辰端蔵但枘 :損嘆揃造遜卒促袖辰蔵尊奪賊贈測多叩狸続ﾃ其臓 袖ﾃ尊奪損叩孫 PPE 族卒損俗狸続丹袖嘆其ﾂＣ臓 ﾃ炭卒谷息贈尊 1.孫造歎尊坦他臓袖担ﾃ速誰贈測晊損族多息嘆其捉炭谷存脱賊 尊側臓贈 2.孫造歎続臓湛晠短辿損嘆贈 3.卒側鱈卒ﾃ尊坦贈測谷続孫袖臓 4.ﾂ続歎袖臓湛奪遜贈 袖 9 族多揃 ﾃ鱈尊損俗則 但孫村属叩他探 贈尊ﾃ束奪測旦速淡族炭属鱈臓 淡ﾂ饗Ｂ 卒賊樽昡袖村造ﾂ驚束淡奪臓贈 揃多 贈尊 169.6 PH 袖 :-- 揃 袖達 贈尊 57.6臓脱 ( 135.68即H ) 袖達贈尊 -68.8 臓脱 (-93即H ) MSDS 損俗孫竪 3/5 但淡 奪 袖達 贈尊 卒ﾃ族損村 揃遜但ﾃ其贈尊 贈- 賊 贈尊ﾂ潅捉 0.124 lb/ft3 (210C, 1atm) 淡奪其贈尊 担短孫 : (21.1臓脱 )贈尊 3.89 psia(26KPa) 速遜但其 贈尊 他巽揃卒側 10 族多揃贈尊 ﾃ其即尊揃卒側損樽 袖 損俗則ﾃ其即 贈尊 ﾃ其即 ﾂＢ座β恵遜但 誰 速遜但族炭損俗臓贈 400C臓贈 竪賊但袖辿多旦贈尊 存多族損其続測孫箪 側賊但袖ﾃ贈尊 速臓蔵他束俗村叩但損湛属賊探ﾃ strong bases臓贈 但卒多旦 袖 ﾂＢ座β 贈尊 -- 11 族多揃贈尊 其他則 袖 村賊其他贈尊 LC508000ppm/4H 坦ﾃ蔀谷 他族多則側贈尊 其造揃担存俗卒臓贈 担存 贈尊 贈- 箪其他損嘆続造 贈尊 贈- 但則側 贈尊- 袖 12 族多揃 炭測属枓 多袖損揃他続属枓 /損揃他続歎族村贈尊 -臓贈 炭ﾃ損箪贈尊卒捉臓 13 族多揃贈尊 揃炭卒側鱈 袖 揃炭卒側 遜 即 贈尊 遜束存多損孫息探贈測属ﾃ餌叡揃担則村族蔵淡臓達 袖村谷尊綻賊歎存俗卒ﾃ側鱈臓贈 14 族多揃贈尊 辰昡 袖 DOT 辰短続 : 損俗ﾃ ﾂＣ村其賊丹 :8 其賊丹 尊 : UN1818 DOT 辰賊棚息 : 存俗卒 MSDS 損俗孫竪 4/5 但淡 奪 (巽竪捉 )贈尊 族損多村淡奪 他俗 但袖 辰昡 :賊遜 ﾂＣﾃ揃賊即袖? 臓? 但 揃遜 即村属蔵 枘贈尊 即揃巽村尊袖多続賊蔵孫其遜臓贈族損坦樽辰 臓贈揃晗多孫遜担測則村属損族蔵淡 孫探淡奪存多損尊枰袖炭族続則村遜辰属臓贈ﾂ澗-側 蔵但 贈尊 多湛続則村辰属損嘆他-辿脱測但袖淡ﾂ促揃即臓贈 15 族多揃贈尊 孫揃即 脱 袖 1. 袖揃遜損即属族束孫脱嘆臓贈 2. ﾂＣ誰村属尊側即其孫脱嘆臓 3. 存孫淡奪造属族束脱嘆臓贈 4. 多淡ﾃ他揃即臓贈 5. 揃炭ﾃ奪鱈即臓贈 6. 速ﾃ他揃即臓贈 16 族多揃贈尊 辰端昡 袖 ﾂＢ座β誼村其 NFPA 袖村其 HMIS 袖村其 遜臓多袖贈尊 3 遜臓多袖贈尊 0 多村贈尊 0 多村贈尊 0 揃卒側贈尊 1 揃卒側贈尊 0 但袖歎贈尊 遜短速 MSDS 損俗孫竪 5/5