但淡 奪 (MSDS) 族昷 束箪他賊鱈 1 族多揃 族炭揃存旦 袖 族炭揃短続 贈尊 箪孫竪村辿 Trichlorosilane 則短続 贈尊箪孫竪村辿 揃遜贈尊 損俗 SiHCl3 卒炭短 贈尊 TCS臓蔵 Chlorosilane臓蔵 Silicochloroform 賊 他息但淡 奪多 村 孫束他 炭族 贈尊 賊 他息族箪遜淡卒 奪杮孫造袖 (800)752-1597 族辿俗袖巽損属 贈尊 MSDS 尊谷 贈尊 其息卒ﾃ箪 贈尊 3 存卒坦贈尊 其息 贈尊 1998 棚 7 2 族多揃 歎捉辿続谷 卒 袖 尊測多 : >99% CAS 尊谷 : 10025-78-2 3 族多揃 ﾂＢ座β乎旦 袖 遜担村賊辿多旦 臓属ﾂＣ賊測旦速他蔵村尊奪存俗卒其 遜担村賊辿多旦捉晌 巽損属 0532贈- 388 9090 遜臓多袖ﾂＢ座γ則 ﾃ 谷贈尊叩ﾂ狸続鱈端卒臓多測遜促賊辰捉他探担村属側損 存俗卒族蔵村造尊担ﾃ実誼続臓贈損叩多狸速遜但炭 HCl 尊歎遜卒袖 siloxan贈測狸 続樽其揃ﾃ村属損箪速贈測賊叩端卒多旦蔵炭臓 他側遜卒促贈尊村造族蔵測炭狸多袖丹損嘆則臓 造揃担遜卒促贈尊淡臓蔵狸丹速坦損袖俗則村属其続 続 谷贈尊捉他探臓蔵孫賊袖存族多卒 損揃他続属枓贈尊 其他臓蔵存俗卒贈 ﾃ鱈村属損俗則 贈尊側 担淡賊多贈測損叩袖脱息蔵其卒側達丹臓 但ﾂＢ座 遜短速臓贈 歎捉 蔵卒贈尊 多臓蔵卒村造賊 ﾂＢ座 誰揃 : 4.3臓蔵 3臓蔵 8 4 族多揃 村賊他卒谷息 袖 MSDS 箪 孫竪村辿 1/5 但淡 奪 族損測賊息其 他 袖村 卒谷 贈尊 絨? ? ? 菴莅膸? ? 則l造J 臓G 莅? 絲? ? 膸? 24 臓賊贈 造揃担遜卒促贈尊 蔵多卒坦 奪速続 晊損村族多 15 揃贈測続箪ﾃ他速 ﾃ贈測担続造 其損嘆 他探卒村造存贈測側蔵遜ﾃ臓 他側遜卒促贈尊多其族損多卒歎綻ﾃ他袖 臓贈続多捉造卒坦多ﾃ速続奪晊 15 揃 贈 測 族 蔵 多遜臓贈 樽捉 蔵 卒村属ﾂＢ座γ則 贈- 其遜側袖叩 他贈尊 息 属枓 箪 孫竪村辿 揃続旦損俗但 臓贈箪 孫竪村辿其続造他多卒村 村属存俗卒 臓贈谷 箪 孫竪村辿多族炭 短損俗袖 贈 嘆卒息多臓贈 狸続 尊叩存担造袖族蔵揃 蔵臓贈 5 族多揃 損丹 尊賊測即 袖 丹損 村贈尊 卒ﾃ損叩谷速揃側贈測蔵息賊他袖属臓存嘆其綻探俗村丹 丹損遜束族炭 HCl 村属存卒造淡奪臓贈 丹損 賊多但旦速 ﾂＢ座 卒族炭揃損叩担淡脱歎其俗臓贈蔵賊丹 損丹卒臓蔵即村歎袖巽竪賊存他族ﾃ箪贈炭揃嘆脱叩多則 臓贈 速谷尊測遜 卒促損叩狸続賊 即臓贈 但丹損 続 嘆贈尊 竪蔵湛賊贈測卒息淡多尊担ﾃ蔀径 SCBA贈息尊揃損造臓贈速ﾃ辰卒其 損丹続臓速歎贈測孫多ﾃ嘆其達揃造誰尊坦遜巽 多続蔵孫賊息卒臓贈 柃揃賊速但 損造竪 存贈尊 贈- 村尊坦族炭ﾃ贈 臓蔵損俗但探孫竪贈 6 族多揃 但 孫息側村賊卒 鱈 袖 存旦側蔵但枘贈尊 1.遜束湛賊臓蔵続袖他存担谷孫息淡贈 2.孫袖賊揃損造他臓贈 3.柃続箪湛損丹卒贈測巽孫多賊 孫息卒臓贈 4.存担谷孫息歎臓贈 5.担存多孫息即捉損探臓贈 6.担続竪賊存揃蔵炭孫息贈測多 揃則贈測属族束袖孫側ﾃ其即竪淡奪遜続卒臓 7.狸族但即其竪袖 TWA贈測ﾃ揃損造賊族多遜淡谷臓贈 損揃他続蔵但枘贈尊 賊但ﾃ他損揃続臓贈 奪鱈揃遜 即贈尊 1.奪鱈孫造歎竪袖箪賊存尊丹臓贈 2.ﾃ庵旦卒促孫息ﾃ臓贈 3.賊贈続孫其淡即揃巽村尊臓 4.属存族尊奪臓贈 5.族炭袖揃ﾃ孫即脱属狸鱈臓贈 6.尊坦奪晊淡贈測族蔵多速続揃 速谷揃晊側鱈続臓贈 7 族多揃 孫 谷卒蔵 脱 袖 400C贈測 卒蔵 脱 贈尊歎側卒脱揃即巽村臓蔵属族束損多孫棚速続湛測淡ﾃ其箪 端卒脱淡族損多揃村ﾃ臓蔵晠短丹其谷賊続旦袖尊担贈歎側 卒脱揃族蔵袖賊淡遜担則贈損造存測多鱈側竪孫其即歎谷捉端 遜淡続旦袖賊但端揃孫箪贈測其即村多卒脱臓谷蔵損丹属族ﾃ束 MSDS 箪 孫竪村辿 2/5 但淡 奪 損嘆 2 孫束続存臓蔵竪損丹 1 臓賊袖揃損丹遜贈孫族炭即巽晆谷歎竪 賊存贈測但続ﾂ揃蔵損丹卒臓単-村誰属孫探淡奪袖即脱其端谷側鱈湛多 属竪孫息狸族但歎谷他俗賊即晌続臓贈端卒脱存村尊遜測巽炭損丹 孫 贈尊族損捉昞蔵-孫旦属端歎測側袖賊続嘆其存炭叩 賊谷孫其即臓贈村属袖歎揃則卒族束淡奪脱但遜存多 遜短損丹臓贈孫ﾂ挫鱈其多袖揃村叩箪蔵賊歎測続竪 谷其測遜孫揃竪淡奪続卒袖贈損尊坦臓箪嘆多捉歎則担旦ﾃ 贈測側孫族歎蔵即捉息損探臓揃袖淡速他鱈賊棚脱 孫卒多旦臓贈ﾃ損丹即嘆揃賊測竪存谷造他束辰側村尊遜袖但族巽炭 損丹即臓贈 8 族多揃 賊息其多 /存旦揃損造卒谷息 袖 孫造続多贈尊 叩孫息損嘆揃賊測袖即巽ﾂ鈎其 TWA 袖臓贈 多族ﾃ箪 : 賊多遜他湛鱈即其 (TWA): 5ppm(for HCl) 其賊村辰多遜他湛鱈即 (STEL): 10ppm(for HCl) 樽存鱈即其 (Ceiling): -- 炭ﾃ存谷 (BEIs):-- ﾂ族多村損俗但袖鱈即其臓贈 存旦揃損造竪賊 贈尊 A 村其揃損造臓贈 辰端賊贈損造竪存 :属族束測臓蔵多孫其他存俗卒袖損則揃造贈 ﾃ炭卒谷息贈尊 1.孫造歎尊坦他臓袖担ﾃ速誰贈測晊損族多息嘆其捉炭谷存脱賊 尊側臓贈 2.孫造歎続臓湛晠短辿損嘆贈 3.卒側鱈卒ﾃ尊坦贈測谷続孫袖臓 4.ﾂ続歎袖臓湛奪遜贈 袖 9 族多揃 ﾃ鱈尊損俗則 但孫村属叩他探 贈尊ﾃ束奪臓 淡ﾂ饗Ｂ 樽昡袖卒村造叩ﾂ饗‖ 揃多 贈尊 135.45 PH 袖 :-- 揃 袖達 贈尊 31.9臓脱 ( 89.4即H ) 袖達贈尊 袖達贈尊 -126.6臓脱 (-195.88即H ) 0 0 袖達 贈尊 -14 C (-6.8 F) 多捉賊- 賊測即遜巽 %: (LEL) 1.2%; (UEL) 90.5% 揃遜但ﾃ其贈尊 贈- 賊 贈尊賊 1.34 担短孫 : 担淡孫 (21.1臓脱 )贈尊 9.7 psia(20臓脱賊 67 Kpa) MSDS 箪 孫竪村辿 3/5 但淡 奪 速遜但其 贈尊 他巽揃卒側 10 族多揃贈尊 ﾃ其即尊揃卒側損樽 袖 損俗則ﾃ其即 贈尊 ﾃ其即 ﾂＢ座β恵遜但 誰 速揃卒側族炭損俗但村属淡臓贈 400C臓贈 竪賊但袖辿多旦贈尊 存多族損其続測孫箪 側賊但袖ﾃ贈尊 多探損俗村臓蔵叩樽息賊短捉属淡他束孫箪ﾃ炭谷袖 属揃臓贈 但卒多旦 袖 ﾂＢ座β 贈尊 -- 11 族多揃贈尊 其他則 袖 其他贈尊 LC50 贈即族但其俗ﾃ臓蔵端他息 2676ppm/1H(坦臓蔵ﾃ蔀谷 ) 他族多則側贈尊 贈- 担存 贈尊 卒村造臓蔵存俗揃担贈 箪其他損嘆続造 贈尊 NPT, IARC, or OSHA Subpart Z ﾂ潅谷属息損嘆賊誰臓贈 但則側 贈尊- 袖 12 族多揃 炭測属枓 多袖損揃他続属枓 /損揃他続歎族村贈尊 DOT 湛袖尊贈坦ﾃ他誰短促臓 筝? ? 絮? 茣? Class I 息 ClassII 息側C捉尊俗辰速単 13 族多揃贈尊 揃炭卒側鱈 袖 揃炭卒側 遜 即 贈尊 ﾂ潅孫損嘆族脱淡奪 :遜束歎損孫息探贈測族捉続蔵促卒側鱈臓 14 族多揃贈尊 辰昡 袖 DOT 辰短続 : 箪孫竪村辿 , Trichlorosilane ﾂＣ村其賊丹 : 4.3 其賊丹 尊 : UN1259 DOT 辰賊棚息 : 旦速ﾂＣ臓蔵村存俗卒 但袖 辰昡 :賊遜 ﾂＣﾃ揃賊即袖? 臓? 但 揃遜 即村属蔵 枘贈尊 即揃巽村尊袖多続賊蔵孫其遜臓贈族損坦樽辰 臓贈揃晗多孫遜担測則村属損族蔵淡 MSDS 箪 孫竪村辿 4/5 但淡 奪 孫探淡奪存多損尊枰袖炭族続則村遜辰属臓贈ﾂ澗-側 蔵但 贈尊 多湛続則村辰属損嘆他-辿脱測但袖淡ﾂ促揃即臓贈 15 族多揃贈尊 孫揃即 脱 袖 1. 袖揃遜損即属族束孫脱嘆臓贈 2. ﾂＣ誰村属尊側即其孫脱嘆臓 3. 存孫淡奪造属族束脱嘆臓贈 4. 多淡ﾃ他揃即臓贈速 5. 揃炭ﾃ奪鱈即臓贈 6. 其俗属族束ﾃ炭竪息孫脱嘆臓贈 16 族多揃贈尊 辰端昡 袖 ﾂＢ座β誼村其 NFPA 袖村其 HMIS 袖村其 贈即孫炭揃損丹-叩其奪側賊辰速ﾂ座誼村息 贈即ﾂ座γ晌続族炭揃村其息 遜臓多袖贈尊 3 遜臓多袖贈尊 3 多村贈尊 4 多村贈尊 4 揃卒側贈尊 2 揃卒側贈尊 2 但袖歎贈尊 遜短速 袖村其 : 0:樽 ; 1:叩ﾂ ; 2:袖 ; 3:存袖 ; 4: MSDS 箪 孫竪村辿 5/5